Чистая туннельная печь для полупроводниковой промышленности — это нагревательное и транспортное оборудование, разработанное специально для процесса производства полупроводников. Оно сочетает высокотемпературную обработку с требованиями высокочистой среды для соответствия строгим стандартам чистоты и контроля точности при производстве полупроводниковых чипов.
Характеристики оборудования
1. Система нагрева: дальний инфракрасный нагрев, высокий эффект излучения, более высокая скорость нагрева, разумное распределение нагревательных трубок, независимый контроль каждой температурной зоны, в соответствии с потребностями процесса температуры нагревательной секции.
2. Система контроля температуры: ПЛК + сенсорный экран управления, с использованием импульсного выходного управления нагревателем, твердотельного реле, чтобы избежать мгновенного воздействия тока, колебаний контроля температуры и других воздействий, с выходным термостатом DC24V, который может сделать выходное напряжение плавным, эффект контроля температуры более стабильным, температура более точной, с самонастройкой ПИД, автоматическим термостатом, автоматическим отсчетом времени может быть больше установленного значения температуры, автоматическое отключение нагрева. Когда температура превышает установленное значение, он автоматически отключает питание нагрева и подает звуковой и световой сигнал.
3. Изоляция оборудования: изоляция из алюмосиликатной минеральной ваты 100К, внешняя часть коробки обеспечивает поддержание нормальной температуры в помещении, температура окружающей среды оказывает меньшее влияние.
4. Защитные функции: защита от утечек, защита линии, защита от короткого замыкания, защита от перегрузки, защита от перегрева.
5. В соответствии с производственными потребностями может быть оснащен высокоэффективным фильтром, устойчивым к высоким температурам, класса чистоты CLASS1000.
6. Транспортировка: в зависимости от потребностей можно выбрать ленту с тефлоновой сеткой, ленту с сеткой из нержавеющей стали или пластинчатую цепь, а скорость транспортировки можно регулировать путем преобразования частоты.
7. Внутренняя часть корпуса печи изготовлена из листовой нержавеющей стали марки SUS304# для поддержания чистоты внутри печи, а поверхность оборудования обработана краской для выпечки.
8. Поддержка отслеживания кода продукта и системы MES (опционально).
Приложения
Чистая туннельная печь широко используется в полупроводниковой промышленности, особенно в производстве чипов, упаковке и тестировании и других ключевых звеньях. Она играет важную роль в повышении выхода полупроводниковых чипов, снижении производственных затрат и сокращении производственного цикла.
